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RTP疾速退火炉

宣布时候:2017-11-15  阅读次数:4667

 


装备简介:

  疾速退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),岂但具备很是快的升温速度,并且在烧结工艺运转结束后,间接将试样挪动至室温下,完成物理状况下的疾速降温。装备接纳了内管进气、外管出气的气路布局,使得反映氛围与加工样品充实而平均地打仗。退火炉是CVD法发展大尺寸二维石墨烯的经常利用装备。测温元件间接和试样打仗,保障试样温度的切确性。




 

 

 

 

 



设置装备摆设概况

1. 双层钢布局;

2. 高纯度Al2O3纤维耐火保温资料,最大节俭动力;

3. 耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可耽误利用寿命;

4. 氧化铝管塞可赞助您在管内成立自界说的温度梯度;

5. 该装备是国度专利掩护产物,专利号:CN201310005931.6。

产物型号

NBD-HR1200-110IT

电气规格

AC380V   15KW

可达温度

1100 ℃(长时候利用必须外接水冷装配)

持续温度

1000 ℃ (持续利用必须外接水冷装配)

可达加热速度

倡议≤  100 ℃/S

加热区长度

200mm

炉管尺寸

Φ80*120mm

节制体系

 

1.可预存15条温度曲线,避免差别的尝试工艺反复设置带来的费事;

2.尝试进程加倍直观,操纵加倍便利;

3.NBD-101E嵌入式操纵体系中英文交换图形界面,7寸真彩触屏输出,智能式人机对话形式,非线性模样形状温度批改;

4.具备超温报警、断偶提醒、泄电掩护等功效。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

 

红外灯管加热

密封体系

 

 

 

真空度:≤5Pa(机器泵)

压力丈量与监控

 

接纳数显真空计,可以使装备炉管内的真空度显现加倍直观,尝试成果加倍切确。

毛重

90KG

装备利用注重事变

    1. 装备炉膛温度≥300℃时,挪动炉膛后,制止触碰原炉膛地点地位的石英管,避免遭到危险;

2. 装备炉膛温度≥300℃时,制止翻开炉膛,避免遭到危险;

3. 装备利用时,炉管内压力不得跨越0.125MPa(相对压力),以避免压力过大形成装备破坏;

4. 真空下利用时,装备利用温度不得跨越800℃。

   5. 供气钢瓶外部气压较高,向炉管内通入气体时,气瓶上必须装置减压阀,倡议在选购尝试用小压力减压阀,减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,利用时会加倍切确宁静。

   6.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状况,炉管内的气压需和大气压 相称,坚持在常压状况;

   7.高纯石英管的长时候利用温度≦1100℃

   8.加热的尝试时,不倡议封闭炉管法兰真个抽气阀和进气阀利用。若须要封闭气阀对样品加热,则需时辰存眷压力表的示数,若相对压力表读数大于0.15MPa,必须立即翻开排气端阀门,以防不测产生(如炉 管分裂等)

办事撑持

1年质保,供给毕生撑持(保修规模内不包含易耗部件,比方炉管和O形圈等) 


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